低温等离子设备去除恶臭是通过两个途径实现的：一个是在高能电子的瞬间是高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子另一个是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基(自由基因带有不成对电子而具有很强的活性)等作用下的氧化分解成无害产物。主要有下面几个过程：

1、在高能电子作用下，强氧化性自由基O、OH、OH2的产生

2、有机物分子受到高能电子碰撞被激发，及原子键断裂形成小碎片基团和原子

3、O、OH、HO2与激发原子、有机物分子、废气处理公司破碎的基团、其他自由基等发生一系列反应，有机物分子最终被氧化降解为CO、CO2、H2O。去除率的高低与电子能量和有机物分子结合键能的大小有关。

从除臭机理上分析，主要发生以下反应：

H2O+O2、O2-、O2+——SO3+H2O

NH3+O2、O2-、O2+——NOx+H2O

H2S去除率可达91.9%，NH3去除率可达93.4%，臭气浓度去除率可达93.6%。

从上述反应来看，恶臭组分经过处理后，转变为NOx、SO2、CO2、H2O等小分子，在一定的浓度下，各种反应的转化率均在95%以上，而且恶臭浓度较低，因此产物的浓度极低，均能被周边的大气所接受。